Nanoimprint lithography(NIL)is considered as a promising technology for the next generation lithography owing to its low......

透镜中心厚度测量设备是基于色差共焦原理，能快速自动测量透镜的中心厚度，且不接触透镜表面的一种新型设备。通过对该测量系统出射光......

光谱共焦位移传感器是一种以波长信息反映位移变化的非接触式光电位移传感器,色散镜头是传感器重要组成部分,其轴向色散与波长之间......